盛剑科技国产半导体制程附属设备及关键零部件项目（一期）正式投产
本报讯 （记者张文湘见习记者占健宇）日前，上海制程附属设备及关键零部件项目（一期）投产仪式在上海嘉定工业区举行。
据悉，该项目规划生产工艺废气处理设备、真空设备、温控设备，这些产品共同作用于制程设备的反应腔辅助控制，可使反应腔满足刻蚀、离子注入、扩散及薄膜沉积等工艺所需的环境条件，是制程中不可或缺的重要组成部分。该项目的顺利投产，是产业布局中的重要一环，进一步提升了公司半导体制程附属设备及关键零部件的生产能力、运维能力和产业竞争力。
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